优秀研究生学位论文题录展示

衍射光学中的严格耦合波分析方法

专 业: 光学
关键词: 耦合波 光栅 衍射光子
分类号: O43
形 态: 共 104 页 约 68,120 个字 约 3.258 M内容
阅 读: 全文阅读说明

内容摘要


该论文研究工作主要集中于将严格的耦合波分析方法RCWA:Rigorous Coupled Wave Analysis用于各种光栅的分析设计中,研究内容包括分频光栅的RCWA分析、分频光栅的各种工艺误差宽容度分析、采样光栅的设计及其RCWA用于近似周期分析模型……

全文目录


文摘
英文文摘
第一章 概述
1.1衍射光学元件及其分析方法
1.2矢量衍射理论
1.4创新之处
参考文献
第二章 严格的耦合波分析方法
2.1一维矩形光栅
2.1.1任意偏振
2.1.2 TE模
2.1.3 TM模
2.1.4衍射效率
2.2多层台阶结构光栅
2.3 RCWA方法应用实例10
2.4本章小结
参考文献
第三章 标量衍射理论的局限性
3.1标量衍射理论原理
3.1.1光束正入射的位相分布
3.1.2光束斜入射时的位相分布
3.2标量理论的误差分析
3.2.1光栅周期的影响
3.2.2刻蚀深度的影响
3.2.3光栅周期与刻蚀深度共同影响
3.2.4折射率的影响
3.2.5斜入射光束的影响
3.2.6填充因子的影响
3.2.7结果分析
3.3本章小结
参考文献
第四章 分频光栅的分析设计
4.1分频光栅的设计原理
4.2分频光栅的衍射行为分析
4.2.1标量理论分析结果
4.2.2严格的耦合波分析方法结果
4.2.3刻蚀深度的优化
4.3分频光栅的宽容度分析
4.3.1刻蚀深度误差分析
4.3.2工艺占空比误差分析
4.3.3塌边结构分析
4.3.4光束斜入射的影响
4.4本章小结
参考文献
第五章 采样光栅设计与衍射行为分析
5.1 BSG的设计原理
5.2 BSG衍射行为分析
5.2.1 变周期的RCWA方法
5.2.2 刻槽深度宽容度分析
5.2.3 变周期对采样效率的影响
5.3本章小结
参考文献
第六章 衍射光栅分析软件构建与使用
6.1衍射光栅分析软件的构建
6.1.1 菜单项的构建
6.1.2 数据输入区的实现
6.1.3 结果显示区的实现
6.2衍射光栅分析软件的使用
6.2.1 菜单功能介绍
6.2.2 软件各种功能介绍
6.2.3 本软件的特点
6.3本章小结
参考文献
总结与展望

相似论文

  1. 蒙特卡罗方法在煤烟介质光分布特性研究中的应用,56 页,O436.2
  2. DDA在粒子散射特性研究中的应用,81 页,O436.2
  3. 非同心球对高斯波束散射的研究,128页,O435 X513
  4. 三维形貌测量的栅线法研究,56 页,O433.1
  5. 偏心球及双球粒子与任意入射高斯波束的相互作用研究,151页,O431
  6. 相干态量子密钥分发的若干研究,64 页,O431.2
  7. 数字全息再现物体研究,49页,O438.1
  8. 相位物体Z-扫描研究金属簇合物[Tp*W(μ3-S)3Cu3Py3(μ3-Br)](PF6)/DMF溶液的瞬态热致非线性折射,49页,O437
  9. 数字全息图像质量的改进,58页,O438.1
  10. MWECRCVD系统及BN薄膜生长与特性研究,141页,O484.1
  11. 立方氮化硼薄膜的射频溅射制备和掺杂研究,93页,O484.1
  12. 光折变晶体实现联合变换相关的实验研究,43页,O43
  13. Fe/Cr超晶格电子结构和磁性的第一性原理研究,59页,O482.5 O471.4
  14. 强非局域空间光孤子及其相互作用的研究,48页,O431.2
  15. 光激励下有机分子重新取向诱导的液晶三阶光学非线性的动力学过程研究,107页,O437
  16. 空心光束的产生和应用,46页,O436 O439
  17. He-N<,2>O和Ne-N<,2>O范德瓦尔斯复合物的振动转动光谱,40页,O433.54
  18. 水下高速光电成象技术研究,97页,O43 TB868
  19. 有机功能薄膜材料电荷转移特性研究,59页,O437 O484
  20. 基于分数傅里叶变换在菲涅耳区恢复相位,57页,O438 O174.22
中图分类: > O43 > 数理科学和化学 > 物理学 > 光学

© 2012 book.hzu.edu.cn