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电子束泵浦氩等离子体中高能电子分布的理论及实验研究

专 业: 物理电子学
关键词: 离子准分子 等离子体 玻耳兹曼方程 激发截面 电离截面
分类号: O43
形 态: 共 70 页 约 45,850 个字 约 2.193 M内容
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内容摘要


该文在大量调研的基础上对离子准分子激光的应用做了介绍,并对它的发展状况分类进行了较为详细的回顾;通过总结该课题组以往的工作,重点研究对电子束泵浦氩等离子体中电子碰撞动力学过程,提出了建立修正的玻耳兹曼方程并对之求解,在此基础上计算电离能以及激发能的能量沉积比,从而为实验寻找最佳条件提供了一定的依据……

全文目录


文摘
英文文摘
第1章 绪论
1.1引言
1.2 VUV/XUV激光应用前景
1.2.1 VUV/XUV激光
1.2.2光刻与相干光学加工
1.2.3全息
1.2.4空间探测及工业加工
1.3离子准分子激光研究的进展情况
1.3.1碱金属卤化物离子准分子体系
1.3.2稀有气体碱金属离子准分子体系
1.3.3稀有气体卤化物离子准分子体系
1.3.4异核稀有气体分子离子体系
1.3.5同核稀有气体离子准分子体系
第2章 玻耳兹曼方程的简化及求解
2.1引言
2.2几种解决能量沉积问题的动力学模型简介
2.3基本方程的导出
2.4修改后的玻耳兹曼方程
2.5将方程离散化处理
2.6离散方程的求解
2.7本章小结
第3章 高能电子分布的理论计算
3.1引言
3.2高能电子分布的静态解析解
3.2.1电子与氩原子碰撞激发截面的选取
3.2.2根据未完善的玻耳兹曼方程计算的电子密度随能量分布
3.2.3按完善后的玻耳兹曼方程计算获得的高能电子分布
3.2.4对用完善前后玻耳兹曼方程计算的电子分布曲线图的讨论
3.2.5能量沉积比的计算
3.3气体压强和电子束流密度对电子分布和能量沉积比的影响
3.4在实验条件下各能量沉积比曲线
3.5讨论
3.6本章小结
第4章 高能电子分布的实验研究
4.1实验装置简介
4.2电子束电压与电流波形的测量
4.3荧光谱的观测
4.5本章小结
结论
参考文献
附录A:电子分布与能量沉积比计算程序
附录B:电离碰撞截面计算程序
附录C:激发截面计算程序

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中图分类: > O43 > 数理科学和化学 > 物理学 > 光学

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