优秀研究生学位论文题录展示

多层薄膜气敏光学特性研究

专 业: 光学
关键词: 多层气敏薄膜 高选择性 长期稳定性 光学特征
分类号: O43
形 态: 共 52 页 约 34,060 个字 约 1.629 M内容
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内容摘要


该文在器件结构上突破目前的单层薄膜结构,采用溶胶-凝胶法,成功制备了ZnO、TiO<,2>、Fe<,2>O<,3>等金属氧化物所构成的二维多层气敏光学薄膜,薄膜的几何厚度为10<2>nm量级,薄膜表面粗糙、空隙率较高,膜层牢固。

该研究结果表明,多层气敏薄膜可克服传统的单层薄膜选择性差、稳定性不高等缺点,对今后新型半导体材料的开发、气敏传感器结构的改进及气敏光纤传感器的应用提供了有价值的参考……

全文目录


文摘
英文文摘
一、前言
二、多层气敏光学薄膜的制备
2.1溶胶凝胶法基本原理
2.2溶胶-凝胶光化学传感器
2.3溶胶-凝胶法制备多层气敏光学薄膜
2.4薄膜厚度的测量
三、气敏透射光谱的测量
四、实验结果及分析
一、ZnO、TiO2系列多层薄膜
二、ZnO、Fe2O3系列多层薄膜
三、Fe2O3、TiO2系列多层薄膜
四、长期稳定性实验
小结
附图
五、气敏光学现象的理论解释
5.1表面吸附理论
5.2电子理论
5.3物理光学理论
5.4气敏选择性
5.5长期稳定性
5.6其他实验现象的解释
六、结束语
参考文献

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中图分类: > O43 > 数理科学和化学 > 物理学 > 光学

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