优秀研究生学位论文题录展示

弱磁等离子体近表面输运与薄膜生长过程的研究

专 业: 物理电子学
关键词: 等离子体沉积 等离子体输运 射频辉光放电 蒙特卡罗模型 薄膜生长 薄膜形貌
分类号: O46  O484
形 态: 共 126 页 约 82,530 个字 约 3.948 M内容
阅 读: 全文阅读说明

内容摘要


该文通过理论和实验全方位地研究实验条件、近表面等离子体输运、近表面沉积粒子分布以及基底表面上薄膜生长之间的条件。

首先从实验和理论两个方面研究了等离子体沉积吕等离子体中电子和离子的输运;其次利用实验结果建立一个二元动力学模型,研究了等离子体沉积过程中电子输运对近表面活性粒子沉积粒子分布的影响;最后建立了薄膜生长的蒙特卡罗MCS模型、着重研究了薄膜生长初期形貌变化与等离子体中近表面离子能量、基底温度、基底形貌、沉积粒子能量和表面缺陷之间的关系,同时研究人员也研究了薄膜生长过程中的其它一些物理量与这些条件之间的关系……

全文目录


文摘
英文文摘
第一章 绪论
1.1引言
1.2等离子体输运过程的研究现状
1.3薄膜生长过程的研究现状
1.4影响薄膜生长的各种因素
第二章 近表面磁等离子体输运的实验和理论研究
2.1引言
2.2弱磁场等离子体输运的模型
2.3磁场中等离子体输运
2.4等离子体中离子能量的测量
2.5等离子体参数的探针诊断
2.6小结
第三章 等离子体中电子输运对薄膜沉积过程中近表面活性粒子分布影响的实验和理论研究
3.1引言
3.2实验结果
3.3理论模型
3.4小结
第四章 薄膜生长的理论模型
4.1引言
4.2理想表面上的薄膜生长模型
4.3含有缺陷点等离子体表面上的薄膜生长
4.4沉积粒子的能量对薄膜生长的影响
4.5沉积完成后的“热处理”
4.6模型中所用的参数
第五章 理想表面上的薄膜生长
5.1引言
5.2低温条件下的薄膜生长
5.3高温条件下的薄膜生长
5.4不同条件下岛总数的变化
5.5薄膜生长过程中分形维数的变化
5.6吸附粒子在基底表面的扩散系数
5.7小结
第六章 沉积粒子能量或低能离子照射对薄膜生长初期形貌的影响
6.1引言
6.2低温时沉积籽子能量对薄膜形貌的影响
6.3高温时沉积粒能量对薄膜生长的影响
6.4沉积粒子能量对岛总数的影响
6.5沉积粒子的能量对分形维数的影响
6.6小结
第七章 含有缺陷的基底表面上的薄膜生长
7.1引言
7.2基底表面温度对薄膜生长的影响
7.3岛的尺寸变化
7.4岛的分形维数变化
7.5基底表面形貌对薄膜生长的影响
7.6吸附粒子的表面扩散系数
7.7表面台阶对薄膜生长的影响
7.8小结
第八章 沉积粒子的能量对非理想表面上薄膜生长初期形貌的影响
8.1引言
8.2低温条件下沉积粒子能量的影响
8.3高温时沉积粒子的能量对薄膜生长的影响
8.4沉积粒子能量对其它一些参数的影响
8.5小结
第九章 等离子体化学气相沉积过程中薄膜生长初期形貌SEM研究
9.1引言
9.2实验
9.3小结
全文总结
参考文献

相似论文

  1. 微空心阴极制作及放电理论模拟,57页,O462.5
  2. 带状电子注在Wiggler磁场中的传输特性研究,60页,O462 TN146.2
  3. 片状电子注电子枪理论研究,54页,O462 TN146.2
  4. 阴极等离子体及阴极表面损伤研究,56页,O462.4
  5. 微波管钡钨阴极制备和性能的研究,169页,O462
  6. 电子回旋谐振脉塞的PIC模拟,85页,O46
  7. 彩色等离子体显示器件放电特性的二维流体模拟研究,58页,O46
  8. 针对STEM的静电六极球差矫正系统,42页,O463.1
  9. 介质保护膜二次电子发射系数测量装置的设计与研究,57页,O46 TN141.5
  10. 聚合物高速电光调制器的研究,65页,O413.1
  11. 基于CCD的激光切割机高度跟随检测系统的研究,71页,O413.1
  12. 三维轨迹扫描器通信接口设计与实现,64页,O413.1
  13. 光折变自适应光外差探测系统实验研究,60页,O413.1
  14. 正侧视条带模式合成孔径激光雷达仿真研究,67页,O413.1
  15. 2D-FDTD法在光学谐振腔问题的应用,43页,O442 TN629.1
  16. 提高显微成像分辨率关键技术的研究,82页,O436 TP391.41
  17. 三维红外天空的建模与仿真,57页,O413.1
  18. 图像配准理论及算法研究,61页,O413.1
  19. 基于实测数据和粒子系统的尾焰红外图像仿真方法研究,59页,O413.1
  20. 红外成像系统性能评估关键问题研究,64页,O413.1
中图分类: > O46 > 数理科学和化学 > 物理学 > 真空电子学(电子物理学)
其他分类: > O484 > 数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学

© 2012 book.hzu.edu.cn