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移相干涉术原理研究及其算法的工程化

专 业: 光学工程
关键词: 移相干涉术 波面复原 边界识别 绝对检验
分类号: O43
形 态: 共 75 页 约 49,125 个字 约 2.35 M内容
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内容摘要


该文紧紧围绕如何实现高精度测量这一主题,从测量原理,精确复原数字化波面和消除系统误差三个方面着手进行了深入的研究。

详细分析了移相干涉术的原理、误差来源、移相模式和算法,建立了多个数学模型,进行了计算机模拟,最终提出了一种新的移相算法……

全文目录


文摘
英文文摘
结论
第一章 移相干涉术原理的探讨
1.1移相干涉术的基本原理
1.2四步法和三步法
1.3 Carre法
1.4平均法和组合法
1.4.1四步平均法
1.4.2重叠平均法
1 4.3组合法
1.5本章小结
第二章 移相干涉术中移相器误差的消除
2.1傅立叶变换移相法
2.1.1傅立叶变换移相法的原理
2.1.2模拟结果
2.2迭代最小二乘拟合移相法
2.2.1算法原理描述
2.2.2模拟结果
2.3李萨如图形技术移相法
2.3.1算法描述
2.3.2椭圆配置
2.3.3数字模拟
2.4本章小结
第三章 波面复原算法的关键技术
3.1边界自动识别
3.2波面统一
3.3奇点处理
3.4本章小结
第四章 实验
4.1卡塞格林系统中带孔的球面反射镜测试
4.2双孔平面的测试
4.3量块参数测试
4.4本章小结
第五章 光学平面的绝对检验
5.1液面基准法
5.2伪剪切方法
5.3三平面互检法
5.3.1理论模型
5.3.2模拟结果
5.4本章小结
全文总结
1本文所做的工作及创新点
2有待解决的问题
参考文献

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中图分类: > O43 > 数理科学和化学 > 物理学 > 光学

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