优秀研究生学位论文题录展示

大面积玻璃基片磁控溅射镀膜膜层性质和特性的研究

专 业: 流体机械及工程
关键词: 磁控溅射 镀膜 针孔 结合力 均匀性
分类号: TQ170.7
形 态: 共 56 页 约 36,680 个字 约 1.755 M内容
阅 读: 全文阅读说明

内容摘要


本篇论文讨论的是有关玻璃材料表面改性的问题。

在对玻璃、玻璃深加工、深加工的主要物理方法以及磁控溅射沉积方法作了简单介绍后,对玻璃镀膜膜层的主要品质和特性:

针孔、结合力、耐磨性、均匀性、化学稳定性、光学性质、热学性质和电学性质展开了尽可能全面细致的分析和讨论。

其中涉及了镀膜设备、沉积工艺、镀膜材料、膜系结构以及自然科学的诸多层面。

在展示现代真空技术在这一领域中取得成就的同时,也把其中包括的科技内涵作了较为系统的分析、归纳、概括和总结,对业内人士可有一定的启迪和参考作用……

全文目录


摘要
绪言
第一章 玻璃
第二章 玻璃深加工
第三章 溅射镀膜
3.1 直流溅射
3.2 射频溅射
3.3 反应溅射
3.4 磁控溅射
第四章 磁控溅射
4.1 直流磁控溅射
4.2 反应磁控溅射
4.3 偏压磁控溅射
4.4 中频磁控溅射和脉冲磁控溅射
4.5 磁控溅射的阴极
4.6 磁控溅射气体放电激励的类型
第五章 玻璃镀膜膜层品质和特性
5.1 针孔
5.2 结合力
5.3 耐磨性
5.4 均匀性
5.5 化学稳定性
5.6 光学特性
5.7 热学特性
5.8 电学特性
第六章 结束语
参考文献

相似论文

  1. 离心成型纳米Al〈,2〉O〈,3〉生物陶瓷的研究,45页,TQ174.75
  2. 纳米直径硬硅钙石纤维的制备,76页,TQ17 TB383
  3. 单体插层原位聚合制备聚合物/层状硅酸盐纳米复合材料的研究,71页,TQ17 TB383
  4. 硅酸盐加工的计算机控制软件,51页,TQ17 TP273 TP317
  5. 亚微米晶粒Ti(C,N)基金属陶瓷在热等静压条件下的组织、性能研究,135页,TQ17.758
  6. 高摩合成闸瓦材料的制备及制动性能的研究,47页,TQ170
  7. 合成大中空度硬硅钙石二次粒子的影响因素研究,58页,TQ170 TB34
  8. 镁钙耐火材料与钢水作用机理的研究,49页,TQ170.1
  9. 多热源工业合成SiC新技术节能提质优化理论与应用,99页,TQ170.1
  10. 三相流化床运动特性和吸收特性的研究,71页,TQ170.1
  11. 柱撑蒙脱石的制备、表征及其在废水处理中的应用,131页,TQ170.1 X788.03
  12. 聚硅酸金属盐的絮凝性、稳定性和絮凝机理的研究,64页,TQ170.11
  13. 海泡石用于催化剂载体性能研究,53页,TQ170.12
  14. 硅酸盐缓蚀剂界面机理的研究,57页,TQ170.12
  15. 层状硅酸盐材料的固体NMR研究,114页,TQ170.12 O482.532
  16. 影响微型玻璃电极性能的因素,53页,TQ170.12 TQ171.718
  17. 蒙脱土增容HDPE/PS不相容体系的研究,61页,TQ170.12 TQ325.12
  18. 粉煤灰结构及粉煤灰胶凝材料水化的微观研究,74页,TQ170.4
  19. 工业废弃物在蒸压硅酸盐制品中的应用研究,54页,TQ170.4
  20. 二氧化硅包裹型硅铁红色料的制备及呈色机理的研究,47页,TQ170.4
中图分类: > TQ170.7 > 工业技术 > 化学工业 > 硅酸盐工业 > 一般性问题

© 2012 book.hzu.edu.cn